超高分辨冷场发射扫描电子显微镜
样例
1) 离子研磨截面
2) 纤维效果
3) 花状形貌
4) 高倍粒子
5) mapping效果图
适用领域
1) 广泛地应用于各种金属材料和非金属材料的检验和研究 2) 在材料科学研究、金属材料、化学材料、半导体材料、陶瓷材料等多个领域可以进行材料的微观形貌、组织、成分分析，材料断口分析和失效分析 3) 各种材料的形貌组织观察；材料实时微区成分分析 4) 快速的多元素面扫描和线扫描分布测量；晶粒尺寸、形状分析，晶体、晶粒取向测量 5) 元素定量、定性成分分析 6) 晶体、晶粒的相鉴定
面向学科
广泛应用于纳米材料、半导体器件、高分子材料、生物医学、新能源等学科
样品要求
1) 提供详细的测试条件（电压、电流、信号、放大倍数、标尺、理想的照片等） 2) 样品量不少于3 mg。可以接受固体、粉末、薄膜或纤维样品 3) 潮湿的样品不能测试。有机的样品需要具体沟通
收费标准
1) 形貌观察（无磁性、10万倍以下） 150元/样 2) 形貌观察（磁性样、5万倍以下） 200元/样 3) EDS能谱（随形貌2个区域且无磁性） +80元/样 4) EDS能谱（随形貌2个区域且有磁性） +100元/样 5) EDS能谱（单独测且无磁性） 120元/样 6) EDS能谱（单独测且有磁性） 200元/样 7) Mapping(无磁性1个区域) 300元/样 8) Mapping(磁性1个区域) 400元/样
仪器
仪器名称：超高分辨冷场发射扫描电子显微镜
仪器型号：Regulus 8100
仪器缩写：SEM
生产厂家：日本日立(Hitachi)
Regulus 8100保留了SU8010易维护、易操作等优点，进一步提高性能，1kV减速模式下z高分辨率达到了1.1nm，15kV达到0.8nm，高低电压均可满足高分辨的观察。
主要特点
1) 配备加速电压减速功能，优良的低加速电压成像能力，1kV分辨率可达1.1nm 2) 日本日立专利E×B技术，无需喷镀，可直接观测不导电样品 3) 配备电子枪内置加热器，物镜光阑具有自清洁功能 4) SE与BSE任意比例搭配功能
主要参数
1) 二次电子分辨率:0.8 nm（加速电压 15 kV） 2) 加速电压: 0.5~30 kV,着陆电压: 0.1~2 kV 3) 倍率: 20~1,000,000倍 4) 马达台控制: 3轴自动